MUT Anwendungsplattform für die mittelständige Industrie
Fraunhofer-Institut für
- Photonische Mikrosysteme IPMS, Dresden
- Siliziumtechnologie ISIT, Itzehoe
Projektleitung
Jörg Amelung
E-Mail: joerg.amelung@ipms.fraunhofer.de
Technologien / Kompetenzen
- Ultraschall
- Aktorik und Sensorik
- MEMS
- Systemintegration
- kapazitive (CMUT) Ultraschallwandler
- elektrostatische (NED) Lösungen
- piezoelektrische Ultraschallwandler (PMUT)
Leitmärkte
- Anlagen- und Maschinenbau
- Chemische Industrie
Idee
Ultraschallbasierte Sensorik bildet eine wichtige Basis für viele Überwachungs- und Charakterisierungsaufgaben in Industrie, Mobilität, Luftfahrt und Medizin. Mikromechanische Ultraschallsensoren ermöglichen hier als Alternative zu klassischen Sensoren die Realisierung hochkompakter Systeme und insbesondere auch die effiziente Realisierung von Arrays zur Bildgebung. Zusätzlich können nicht-RoHS konforme Materialien vermieden werden. Das Cluster bildet in Deutschland eine führende Kompetenzbasis für mikromechanische Ultraschall-Bauelemente und Systeme. Mit diesem Vorhaben soll eine Plattform mit verschiedenen mikromechanischen Bauelementkonzepten entstehen, auf dessen breiter Basis zusammen mit KMU Pilotprodukte entwickelt werden. Die geplante Plattform reduziert die Einsatzbarriere mikromechanischer Elemente massiv und ermöglicht die Realisierung innovativer Produkte.
Beispiele für solche Anwendungen sind Mikropositionierungsplattformen, miniaturisierte Füllstand- und Durchflussmesssysteme, Kollisionssensorik bei autonomen Systemen bis zu miniaturisierten Sonden in der Medizin.
Für Demonstratoren sollen zunächst Einzelwandler sowie kleine Arrays (2x2) eingesetzt werden, da mit diesen in einfacher Weise die Nutzung der neuen Technologien betrachtet und evaluiert werden kann. Hierbei ist die Bündelung der Kompetenzen der beteiligten Fraunhofer-Institute von entscheidendem Vorteil. Der notwendige MEMS-Treiber für die Ultraschall-Wandler wird dann je nach Bedarf angepasst oder entwickelt.