Fraunhofer-GesellschaftMikrochips: Kleiner, leistungsfähiger, konkurrenzlos
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Joseph-von-Fraunhofer-Preisträger 2021:
Michael Kampmann und Martin Witt (Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT)
Dr. Jacqueline Atanelov (IMS Nanofabrication GmbH)
Mikrochips: Kleiner, leistungsfähiger, konkurrenzlos
Elektronische Mikrochips – etwa in Smartphones – sollen immer kleiner, schneller und leistungsfähiger werden. Doch stoßen derzeitige Herstellungstechnologien an ihre Grenzen: Es lassen sich nur Strukturen von etwa zehn Nanometern Größe realisieren.
Ein Forscherteam um Michael Kampmann und Martin Witt vom Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT sowie Dr. Jacqueline Atanelov von der IMS Nanofabrication GmbH konnten diese Grenze um ein gutes Stück verschieben: Ihr Mikrosystem Schaltelement für einen Elektronen-Multistrahl-Maskenschreiber erlaubt es, im Produktionseinsatz der EUV-Lithografie Strukturen unter zehn Nanometern zu realisieren für die sieben Nanometer und fünf Nanometer Halbleiter-Chips. Damit ist das Verfahren bisher konkurrenzlos – und es ist unverzichtbar, will man die heute kleinsten erreichbaren Strukturen auf Mikrochips schreiben. Derzeit erzielt IMS mit den Geräten einen Jahresumsatz von 400
Millionen US-Dollar, und auch die Industrieumsätze des Fraunhofer ISIT übersteigen deutlich eine Million Euro pro Jahr.
Die Jury begründet die Preisvergabe unter anderem damit, dass »die IMS Nanofabrication GmbH mit dieser Entwicklung ihre marktführende Stellung erreichen konnte«.